之后数年,隨著asml不断的对pas5500进行技术改良和升级,引入更高解析度的i-line、氟化氪(krf)和氟化氬(arf)系统,老东家飞利浦也是赚钱赚的合不拢嘴。

在97年的时候,由飞利浦的牵线,以及欧美半导体產业迫切想要摆脱东洋半导体產业的依赖,老美也盯上了asml这块肥肉,隨著眾多企业投资加入,以及成功的在阿姆斯特丹和哥谭市证券交易所上市,asml开始研究极紫外线,到了99年asml极紫外线光刻机研发联盟成立,第二年財大气粗的asml收购了美国光刻机製造商硅谷集团(svg),在原来的拳头產品pas5500之外,进入更细微的193纳米领域。

在去年年底的全球spie微光刻会议上,由於nikon和canon的强势,157nm深紫外雷射波(duv)步进式光刻机的研发主流方向,依然是处於纯氮气中的技术改良。

而没有提倡尝试157nm深紫外雷射波,在液体浸没状態下的浸没式光刻技术。

从会议之后到现在,整个asml的研发部门,依然是各种爭吵中,对於157nm浸没式研发是否开始,有著极大的分歧。

“目前的问题是,如果选用157nm纯氮气环境中的研发,这个方向nikon和canon已经投资了几十亿美元,进行了几年的研发,手里面也持有大量的专利。即使最后进行大量的投资,製造出来,怎么和他们竞爭?就算可以竞爭,然而有著一些绕不过去的专利壁垒,难道还需要从他们手里面高价购买专利许可。”

萧扬明摇头对赵长安说道:“我的合同將於今年七月到期,不管asml有没有和我续签的意向,我已经决定了离开。这一两个月的爭吵,根本就看不到任何成功的希望,在我看来,这个asml最终只会沦为美国想要重新获得世界半导体行业领先和控制权的一个失败的尝试和笑话。当然也不完全就是一个笑话,他们可以把asml作为备用,用来威胁和打破將来nikon和canon在157nmduv的定价权和垄断权。这也算实现了这些政客们的一个目標,然而对於我们这些搞技术的,等於是跟在別人的屁股后面,一路吃屁,浪费时间。”

萧扬明是从復大出去的留学生,他和赵长安大一时候的导员王渝的同班同学,也是一起到麻省留学,之后在欧美半导体行业干了近十年,还不到三十五岁的年纪,头上已经有了不少的白头髮,脸上也有了很多和实际年龄不符的皱纹。

四年前唐文炫想要振兴学校的微电子专业,向全世界从復大出去的依然在半导体领域工作而且比较优秀的学生们,发了一批青年教师邀请函,萧扬明也收到了,不过他没有和王渝那样选择回国,而是继续参与pas5500氟化氪(krf)光源的升级研发。

今天萧扬明见到这个不远万里过来的小学弟,上来就给赵长安泼了一盆凉水,说自己准备离开asml,就是不希望他一头扎进去。

欧洲和老美之所以这么不遗余力的砸钱投入大量的多种行业和领域的技术精英,是为了遏制nikon和canon,咱们作为中国人,吃饱了撑著跑过来给欧美掏钱助力?

这是一家位於阿姆斯特丹机场附近的饭店,为了见自己这个小学弟,萧扬明专门从费尔德霍芬赶过来,就是想要说服赵长安不要掺和这种钱吃亏不討好的事情。

而杨一心,叶奕奕,乔航等人则是到米娜提前定的酒店下榻休息。

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