第一百九十五章 45nm晶圆
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郑飞光按下操作键后不久,实验室侧后方那扇连接內部预检区的小门无声滑开。
四五个年轻的面孔依次安静步入,领头的是张海生,他们身著崭新的白色实验服,眼神里混合著紧张、期待和一丝对核心区域的敬畏。
他们迅速在靠近入口处排好,目光聚焦在杨辰身上。
与此同时,周瑶面前的终端和几台核心设备的控制屏同步亮起,复杂的数据流瀑布般落下。
杨辰发出的初始实验参数和材料清单如约抵达。
杨辰没有看刚进来的新人,也没有立刻分配任务,而是目光再次扫过实验室,仿佛在確认这片战场最后的准备细节。
隨后,他转向眾人,声音清晰而沉稳,直接切入主题。
“核心目標,製造光子微处理器的原型。”
“第一步。”
杨辰的指尖在空气中虚点,指向那间配备了顶级通风和过滤系统的超洁净晶圆处理区。
“是基础材料的基石,製备合格的45纳米基底晶圆。”
他没有用晦涩的专业术语,但基底和45纳米这两个词本身就带著清晰的精度要求。
郑飞光立刻精神起来,明白了杨辰的意思,这不是给新人的观摩课,而是实战。
他看向等候指令的张海生等人。
“海生,带你的人跟我来。”
他一边快步走向晶圆处理区,一边对著周瑶那边喊道。
“周姐,首批精炼硅材的规格和纯度覆核文件发给你了,確认无误后立刻启用!”
周瑶快速操作著终端,屏幕上快速对比著杨辰传来的清单参数和后勤部的最终入库质检报告、
“规格精確匹配,纯度和微量杂质控制都在要求范围內,確认启用。”
她手指划过,启动了材料供应系统的授权指令。
处理区的灯光更亮了些。
巨大的熔炉內部,经过严格筛选的精炼硅锭被装置精准地送入高温区。
並非所有晶圆都是从零开始熔炼提纯。
但对於光子微处理器这种对基底材料瑕疵要求苛刻的核心元件来说,初始材料的纯净度和晶格一致性是后续一切工艺成败的关键起点。
通过观察窗可以看到,在精密控制的热场中,硅材开始融化、旋转,晶种缓缓下降,逐步结晶成型。
郑飞光站在主控台前,一边监控著屏幕上温度、压力、旋转速度等一系列实时参数,一边对围拢在旁的张海生等人简明扼要地指示。
“注意看熔炉里的晶体生长状態,对任何异常的晶格生长纹路或者温度波动点的监测优先级最高。”
“哪怕是一丁点的偏差,都会在后面的投影编程和蚀刻过程中放大成致命缺陷。”
“记下標准区间的具体数值,后面需要你们独立盯守。”
一个年轻的研究员小心翼翼地提问。
“郑工,投影编程指的是后面那个雷射刻蚀区吗?”
他指向旁边的雷射微刻蚀系统。
“是目標,但还不是现在。”
郑飞光头也没回,目光紧锁屏幕。
“先把这底子打好。”
“杨主管清单里对这晶圆的平整度、局部应力分布、表面原子级光滑度都有极其苛刻的要求,比常规cpu晶片高出不止一个数量级。”
“这45纳米听著不嚇人,但那是整个平面的宏观尺度,微观上的缺陷容忍度近乎为零。”
“这一步不行,后面的都是白搭。”