老韩站在九米高的观察平台上,手里握著一台终端,屏幕上跳动著十二条產线的实时状態数据。他的身旁站著林薇、张京京、苏黛、方敏,以及从芯谷赶来的章宸。今天是合城二期產能投產的最终评估日,也是决定追光四期能否按期交付的生死节点。

合城二期,是未来科技成立以来最大的单项工程。从破土动工到设备安装,歷时十四个月,总投入超过四十亿元。二期工程包含三部分——追光四期的十二条先进位程產线、一座年產能三万片的先进封装测试中心、以及一座可容纳两千名工程师的研发大楼。其中,追光四期的前三条產线,必须在三个月內投產,否则天权5號的流片將被迫延期,天衡4的上市计划也会受到牵连。

老韩深吸一口气,转身面对身后的评估团队。今天不是庆功会,而是投產前的最后一次全面评审。每一项指標都要过,每一个问题都要暴露,每一个风险都要闭环。

“开始吧。”老韩对著终端说,声音不大,但穿透力很强。

张京京第一个走到白板前,调出了追光四期前三条產线的设备安装与调试报告。

“追光四期的前三条產线,编號四期一號、四期二號、四期三號,设备安装已经全部完成。其中,四期一號线的调试周期最短,只用了六周,比计划提前了十天。四期二號线用了七周,四期三號线用了七周半。三条產线的设备综合利用率都在百分之九十五以上,达到了设计標准。”

“工艺验证方面,我们跑了三百片测试晶圆,连续运行了三百个小时。关键指標如下——膜厚均匀性百分之零点八一,优於设计目標的百分之一。颗粒度平均每片零点三颗,优於零点五颗的目標。良率百分之九十六点二,比追光三期最高水平高出两个百分点。”

林薇问:“百分之九十六点二的良率,是在什么条件下跑的?”

张京京调出了第二页数据。“在理想条件下——使用旧秩序的硅片和光刻胶,工艺参数由资深工程师手动优化。如果换成国內供应商的硅片,良率会下降到百分之九十三点五。如果由普通技术员操作,良率会下降到百分之九十四点八。”

“所以,百分之九十六点二是上限。规模化量產后,良率会稳定在百分之九十四到百分之九十五之间。这仍然比追光三期的百分之九十三点五要高。”

老韩说:“良率不是问题。关键是梯度过渡层方案的寿命验证。追光四期最大的技术突破就是梯度过渡层,把关键內构件的寿命从八百小时提升到了两千五百小时。这个数据,是在產线上验证过的吗?”

张京京调出了第三页报告,是一张寿命测试曲线图。

“梯度过渡层的寿命验证,我们做了两种测试。第一种,加速老化测试。在实验室里模擬极端工艺条件,连续运行了三千小时。测试结束后,梯度过渡层的磨损深度只有预期的一半,表面粗糙度仍在规格內。第二种,產线实测。在追光四期二號线上,用真实的工艺条件连续运行了四百个小时,每五十个小时取样一次。四百小时的测试数据显示,梯度过渡层的性能衰减曲线非常平缓,预计实际寿命可以超过两千五百小时,达到三千小时左右。”

“两千五百小时是什么概念?”章宸问。

张京京说:“按每天运行二十小时算,两千五百小时可以跑一百二十五天,也就是四个月。三千小时是一百五十天,五个月。这意味著,追光四期只需要每四到五个月更换一次內构件,每次更换停机十二小时。相比之下,追光三期每八百小时就要换一次,大约四十天,停机十二小时。停机频率从每四十天一次降到每四个月一次,產能损失减少了三分之二。”

老韩笑了,这是今天会议上的第一个笑容。“梯度过渡层,成功了。”

苏黛问:“梯度过渡层的成本是多少?能不能在追光三期上推广?”

张京京说:“梯度过渡层的製造成本比原来的单一涂层高百分之三十,但因为寿命是原来的三到四倍,综合成本反而更低。追光三期无法使用梯度过渡层,因为三期的腔体结构不支持。三期只能用我们之前验证的小改型方案,把寿命从八百小时提升到一千二百到一千五百小时。”

老韩说:“那就够了。追光三期撑过十八个月的过渡期,等追光四期全面接棒,三期就可以退役了。”

会议进入第二个议题——追光四期的產能爬坡计划。

老韩亲自走到白板前,画了一张產能曲线图。

“追光四期十二条產线,分三批投產。第一批,前三条產线,今天评估通过后,下个月正式投產,月產能八千片晶圆。第二批,中间六条產线,三个月后投產,月產能再加一万六千片。第三批,后三条產线,六个月后投產,月產能再加八千片。全部投產后,追光四期的总月產能是三万二千片晶圆。”

“三万二千片是什么概念?可以支撑每月生產一万八千颗天权5號晶片、八千颗天权4號晶片、以及四千颗天罡系列晶片。完全满足未来科技未来两年的晶片需求。”

章宸问:“追光四期的工艺节点是什么?能跑几纳米?”

老韩说:“追光四期的设计目標是十四纳米,工程验证时跑到了十二纳米。但十二纳米的良率只有百分之八十五,不够经济。所以量產时跑十四纳米。追光五期的目標是七纳米,已经在预研了。”

林薇在笔记本上写了几笔,问:“追光四期的產能爬坡,最大的瓶颈是什么?”

老韩说:“不是设备,是人和材料。设备可以加班调试,但人需要时间培养。追光四期十二条產线,需要八百个操作工和技术员。目前只到位了五百个,还有三百个缺口。这三百个人,两个月內必须到岗並完成培训。”

方敏说:“人力资源部已经在全力招聘了。合城人才生態的六大举措里,多能工培训计划和高校合作定向培养,就是为了解决这个问题。下个月,会有两百个应届毕业生入职合城,全部安排到追光四期。另外,从追光三期抽调一百个资深员工,作为技术骨干带教。”

苏黛补充道:“生活配套也要跟上。合城实验学校下个月开工,人才公寓年底交付。这些问题不解决,招聘和留人都很难。”

老韩点头。“学校、公寓、食堂、超市,都是產能的基础设施。產能不仅是设备和工艺,更是人。”

会议进入第三个议题——先进封装测试中心的投產准备。

张京京调出了第四页报告,是封装测试中心的设备清单。

“封装测试中心是合城二期的核心配套。目前,倒装焊设备、晶圆级封装设备、以及测试设备已经到位百分之八十。剩下的百分之二十,下个月全部到位。”

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